STACIS®III是一种灵活的高级主动隔振平台系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。

784系列研究级光学平台提供*佳的光学顶部性能。研究级系列具有业内*佳性能，它结合了最小的单元尺寸、*高的芯密度、独特的CleanTop®设计、全钢结构以及市场上*高水平的结构阻尼。

TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。

LaserTable-Base™气浮综合性主动隔振系统是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常，光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3Hz范围内的振动。

地面式主动隔振光学平台 通过将我们的不锈钢平台与独特的“提升罩”设计相结合，我们的隔振器可“支撑”平台，使工具在地面上方抬起最小距离。

SEM主动隔振平台SEM-Base®VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-BaseVI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。