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SEM主动隔振平台

简要描述:SEM主动隔振平台SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜(SEM)以及许多聚焦离子束(FIB)和小型双光束仪器。

  • 产品型号:SEM-Base VI
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-07-11
  • 访  问  量:1409
详细介绍

SEM主动隔振平台

概述

SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜(SEM)以及许多聚焦离子束(FIB)和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面(GUI)。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。 

SEM主动隔振平台

SEM-Base VI采用独特的“串行结构”,其中的振动传感器测量地面振动,而不是有效载荷振动。与其他设计不同,这确保了有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器,在难以测量的亚Hz范围内具有最大灵敏度。结合我们独特的压电致动器技术,SEM-Base VI即使在安静的地面上也能实现极高的消振水平。 

SEM-Base VI可提供与以前型号平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的双核处理器,为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面,可实现快速系统评估和安全操作。通过以太网连接时,DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI,无需安装其他软件或应用程序。此外,用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器(LCD)与控制器连接。

注意:请参见SEM-Closure,这是一种专为保护SEM而设计的整体环境解决方案。它可以将SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一个密封和温控声学室中 - 从而保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。

 

SEM-Base VI的优势

硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容,可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。

主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。 

采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的*惯性主动振动消除性能。

完全集成式的单平台设计 - SEM-Base VI设计与制造的集成化,将安装平台的工作简化到了*,简单的定位与设置之后即可正常工作。

NOTE可选SEM-Closure,专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X,保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响。

 

产品特点

●STACIS*技术

●主动惯性振动清除系统

●895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM

●负载能力:408-1134kg (900-2500 lb.)

●隔振效率1Hz:40-70%

●隔振效率经2Hi:90%

●隔振效率>3Hz:90-98%

●6个主动自由度

●安装容易,调试简单

●兼容所有设备内直的振动隔离系统

●电源:100-240VAC, 50/60Hz, <600W

●是否需要空气:非气浮系统

●CE与RoHS认证

●完全集成式的单平台设计

●可安装脚轮,轻松便携移动,无需搬运

●兼容SEM-lift系统

 

规格

性能规格

主动自由度

6

主动带宽

0.6 Hz - 100 Hz

被动固有频率

标称值为12 Hz

有效的主动共振频率

0.5 Hz

1 Hz时的隔振

40% - 70%

2 Hz时的隔振

90%

≥3 Hz时的隔振

90 - 98%

内部噪音

<0.1 nm RMSd>

工作负载范围

标准承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁场发射4英寸(102毫米)处距离平台

<0.02 μG broadband RMSd>

 

设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全

符合CE和RoHS标准

主动隔振元件

最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷

被动隔振元件

单个硬弹性体(无需压缩空气源)

振动传感器元件

向下的地震检波器型惯性传感器,用于
测量隔振器下方的地面振动,并
提供与振动运动速度成正比的电压

主动反馈控制回路

在支撑隔振表面的弹簧
下方测量、处理和
支撑隔离面

尺寸(宽 x 深)

35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米

高度

标称6.3英寸(160毫米),
SEM-Base关闭时不会改变

工作温度

50° - 90° F
10° - 32° C

储存温度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

湿度

30 - 60%

系统电源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE标准

地面位移

<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

 

内置控制器规格

处理器

150/75 MHz双核

采样率

10 kHz

模拟输出

16个通道

模拟输入

16个通道

状态灯

单个LED

前面板端口

1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC

用户界面

前面板液晶显示屏
超级终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI

 

性能

使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模拟振动来测试1800磅(818千克)有效载荷

应用照片

 

应用说明

SEM成像

SEM-Base®在使用日立S-4800之前和之后的图像

SEM成像

蔡司Auriga FIB-SEM在使用带Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的图像

案例分析

主动压电消振功能允许在恶劣的城市环境中使用先进的电子束和离子束仪器

提高金刚石车削质量

最大限度地减少表面粗糙度以消除金刚石车削智能设备相机镜头模具上的衍射颜色

 


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