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Holo/Or DOE专用掩膜

简要描述:Holo/Or DOE专用掩膜
高功率掩膜(DOE专用掩膜)——用于精密控制大功率激光的孔径,它的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄(~1μm)的图案反射涂层。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-03-30
  • 访  问  量:187
详细介绍

Holo/Or DOE专用掩膜

高功率掩膜(DOE专用掩膜)——用于精密控制大功率激光的孔径,它的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄(~1μm)的图案反射涂层。

HOLO/OR已经开发了一系列投影掩模,以满足在UV-VIS光谱中具有很高功率的激光源使用此类掩模的需求。这些掩模具有两种不同的形式:电介质反射掩膜具有阻挡不需要的光的反射涂层,而透射成像掩模模则使用了衍射图案,该衍射图案将这种不需要的光以大角度散射。

典型参数

Outer Diameter:

5 - 100 mm

Aperture Shape

Round, square, multi-aperture, other

Aperture Size

10 um - 60 mm

Wavelength spectrum

193 - 11000 nm, each element designed for single wavelength

Transfer Region

Small; sharp edges

SNR

~500

Shape size

>5 um

电介质反射掩膜

电介质反射掩膜是熔融石英衬底,其上涂有非常薄(~1um)的反射涂层。涂层部分反射入射光束,而未涂层部分透射光束。

典型应用

●大功率系统的微图案投影

●Micro patterns projection for high power systems

●紫外线光刻

●UV lithography

光学系统示意图:

图1.  典型设置

 

HOLO / OR可以设计和制造定制的电介质反射掩膜以满足客户的需求。

图2.用显微镜放大倍数对定制电介质反射掩膜的真实测量

电介质反射掩膜的特点

●高损伤阈值

●High damage threshold

●低吸收

●Low absorption

●反射部分的高反射率(> 99%)

●High reflection (>99%) in reflective part

●透明部分的透射率高(> 95%)

●High transmission (>95%) in transparent part

●极薄的介电反射层(~1 um)

●Very thin dielectric reflective layer (~1 um)

透射成像掩模

透射式掩模的特点是透射全部入射光,没有任何阻挡,透射掩模使用衍射图案以大角度漫射不需要的波段。

工作原理:

中心有一个和反射式掩膜类似的透明区域,光线直接透过,周围区域具有衍射图案,使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦镜后焦平面放置的小孔,就可以阻挡大部分漫射光,从而达到阻挡多余激光的效果。

光学系统示意图

透射成像掩模的特点

●无反射光危险,不会损坏光学系统

●No danger of reflected light causing damage to optical system

●约100%传输

●~100% transmission

●激光损伤阈值高于反射罩

●Higher laser damage threshold than for reflective mask

●价格合理,与其他衍射元件相似

●Affordable price, similar to that of other diffractive elements

透射掩模元件

测量强度

Holo/Or DOE专用掩膜部分产品规格型号

Part Number

Diameter

(mm)

Aperture Size

 (um)

Aperture shape

Material

DM-002

11

65

Square

Fused Silica

DM-003

11

165

Square

Fused Silica

DM-004

25.4

1750

Square

Fused Silica

DM-005

25.4

3500

Square

Fused Silica

DM-006

25.4

7000

Square

Fused Silica

DM-007

25.4

10838

Round

Fused Silica

DM-008

20

8428

Round

Fused Silica

DM-009

25.4

6200

Round

Fused Silica

DM-010

25.4

5680

Round

Fused Silica

DM-011

11

4817

Round

Fused Silica

DM-012

11

3612

Round

Fused Silica

DM-013

11

2408

Round

Fused Silica

DM-014

11

4214.9

Round

Fused Silica

DM-015

11

3000

Round

Fused Silica

DM-016

11

5400

Round

Fused Silica

DM-017

85

50075

Square

Fused Silica

DM-019

25.4

300

Square

Fused Silica

※For a quotation of an above Part Number, please specify the wavelength used.

 


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