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主动隔振系统

简要描述:STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。

  • 产品型号:STACIS IIIc
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-07-12
  • 访  问  量:112
详细介绍

主动隔振系统

概述

STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振平台系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用,因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。

在三隔离器配置中,隔离器高度小于常规STACIS III高度的60%。在具有3个以上隔离器的系统中,高度将在60%到70%之间,具体取决于有效负载设置。有关详细信息,请参见下面的规格。

STACIS IIIc优势

与常规STACIS III系统相比,隔离器高度最多降低42%,而性能却没有降低。

STACIS比空气隔振器坚固数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在*状态下运行。

独特的串行设计和专有的高力压电技术 
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的*主动隔振性能。

性能

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C

(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

性能规格

规格

主动自由度

6

主动带宽

0.6 Hz - 150 Hz

被动固有频率

18 Hz垂直和水平

有效的主动共振频率

0.5 Hz

1 Hz时的隔振

40% - 70%

≥2 Hz时的隔振

≥90%

10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间

(减少10:1)

0.3

内部噪音

<0.1 nm RMSd>

每个隔振器的工作负载范围

低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)

刚度(1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器)

40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

从距离隔振器最大4英寸(102毫米)处发射的磁场

<0.02 μG broadband RMSd>

 

隔振器设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全

符合CE和RoHS标准

主动隔振元件

最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷

被动隔振元件

单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)

振动传感器元件

向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压

主动反馈控制回路

在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动

隔振器尺寸(宽x深x高)

14.45 x 14.26 x 6.16* in.

367 x 362 x 157* mm

 

* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.

隔振器重量

53磅(24千克)

工作温度

50° - 90° F
10° - 32° C

储存温度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

湿度

30 - 60%

系统电源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE标准

地面位移

<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

每个系统的隔振器数量

至少3个

可选附件

层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩

 

DC-2020控制器规格

尺寸(宽 x 深 x 高)

19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm

重量

6.3磅(2.9千克)

处理器

150/75 MHz双核

采样率

10 kHz

模拟输出

16个通道

模拟输入

16个通道

状态灯

单个LED

前面板端口

1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC

后面板端口

1个串行USB 2.0
1个以太网RJ-45
1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器

用户界面

前面板液晶显示屏
超级终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI

 

STACIS用户及应用领域

1、微电子、半导体

●晶片检测

●显微光刻技术

●掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

●SEM、TEM

●STEM、SPM

3、激光台

●生命科学、药物研发

4、工业应用

●精密加工

 

为什么要选择主动系统?

●从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振

●提高质量、生产量

●更加细小特色的成像能力

●前沿研究

●比气动平台更稳定

●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案

●使得新实验室及研究设备的工程造价更低

 

主动系统为何选择STACIS

●正中了科研者的的心声,提供了尽可能完美的无震环境。

●市场上完美强劲的低频隔振系统。

●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振平台才能满足。

●STACIS首次发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

 

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

 

如下优势在业内都是的

●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

●6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 

●从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

 

专业的环境调查

1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波

2、安装后可提供环境系统体系认证

●完善的环境调查服务

●开具专业环境报告

●提供震动、磁场、声波检测及解决方案

●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

●40多年的行业经验,业内的*导者

 

应用照片

 


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