地面式主动减振平台

概述

TOOL-Base是一种先进的地面式主动减振平台，用于超精密仪器和机械设备。

它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。

TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。

TOOL-Base is an advanced active piezoelectric floor vibration cancellation platform for ultra precision instruments and machinery.

High precision tools and instruments that are sensitive to low frequency floor vibration can now be installed in harsh environments when supported by TOOL-Base. With a wide bandwidth of active vibration cancellation, and hard-mount design, it is ideal for any floor-mounted tool in a lab, factory, hospital or other noisy room.

TOOL-Base is not limited to a single configuration, and instead can be designed to closely match the tool’s dimensions, leg layout, and height requirements. In addition, it can be capacity-matched to the mass of the payload.

TOOL-Base优势

硬安装技术 - TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。

主动惯性振动消除 - TOOL-Base采用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地面上。

采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和*利的高功率压电技术使得0。6Hz开始的有源带宽很宽，并且在2Hz开始的主动减振90%达到的惯性主动减振效果。

配置灵活性 - TOOL-Base的配置可以调整，以适应刀具的底座和高度要求。

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试1800磅（818千克）有效载荷

应用照片