产品中心

当前位置:主页 > 产品中心 > 隔振平台系统 > 主动隔振平台 >主动隔振系统Stage-Base 450

主动隔振系统Stage-Base 450

简要描述:TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。

  • 产品型号:Stage-Base 450
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-07-11
  • 访  问  量:134
详细介绍

主动隔振系统Stage-Base 450

概述

TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定,以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供*先进的主动振动和运动消除系统。

Stage-Base 450优势

Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的高级低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。

Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术,使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了*越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内*地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。

规格

●采用独特的STACIS®技术

●采用高力、加长行程的压电致动器

●有效载荷的位置可重复性在微米以内

●框架安装设计

●6个主动自由度

●可选的VCM前馈和/或反馈

●始于0.6 Hz的主动隔振

●响应平台运动的快速稳定时间

●无软空气悬架

●通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面(GUI)的高速数字控制器

●简单、坚固且经济高效

 

性能

 

应用照片

 

 

 

 


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

服务优势

我们珍惜您每一次在线咨询,用专业的态度为您提供更贴心的服务
在线咨询 联系方式 二维码

服务热线

010-6202 9100

扫一扫,关注我们