• 主动隔振系统Stage-Base 450

    TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。

    更新时间:2020-07-11

    厂商性质:生产厂家

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  • 地面式主动减振平台

    TOOL-Base是一种先进的地面式主动减振平台,用于超精密仪器和机械设备。它适用于比典型的商业扫描电子显微镜(SEM)更大或更重的仪器,而且设备有高度限制。

    更新时间:2020-07-11

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  • 赛默飞定制版SEM主动隔振系统

    赛默飞定制版SEM主动隔振系统 SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform.

    更新时间:2020-07-11

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  • STACIS Compact Quiet Island主动隔振平台

    STACIS Compact Quiet Island主动隔振平台 this Compact version provides excellent sub-Hertz active floor vibration cancellation for large instruments that typically weigh over 1134 kg (2,500 lbs.).

    更新时间:2020-07-12

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  • 主动隔振系统

    STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。

    更新时间:2021-06-11

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  • 气浮综合性主动隔振系统

    LaserTable-Base™气浮综合性主动隔振系统是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

    更新时间:2020-07-11

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