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TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。
更新时间:2020-07-11
厂商性质:生产厂家
赛默飞定制版SEM主动隔振系统 SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform.
更新时间:2020-07-11
厂商性质:生产厂家
STACIS Compact Quiet Island主动隔振平台 this Compact version provides excellent sub-Hertz active floor vibration cancellation for large instruments that typically weigh over 1134 kg (2,500 lbs.).
更新时间:2020-07-12
厂商性质:生产厂家
LaserTable-Base™气浮综合性主动隔振系统是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。
更新时间:2020-07-11
厂商性质:生产厂家