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主动空气调平系统(OEM)--PEPS®II建立在TMC的*利PEPS®(精密电子定位系统)基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器,PEPS®II更易于使用,提供了更多功能,还有一个改进的用户界面。
更新时间:2020-07-12
厂商性质:生产厂家
主动空气消振器(OEM)-Electro-Damp®是*一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。
空气隔振器(OEM)--TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的*选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择,适合各种应用。
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