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  • TMC地面式主动隔振平台

    TMC地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起,以满足复杂的设施要求(管道、电缆、燃气管道等)和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。

    更新时间:2024-05-11

    厂商性质:生产厂家

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  • TMC主动隔振光学平台

    TMC主动隔振光学平台STACIS IIIc STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。 STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用,因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。

    更新时间:2024-05-11

    厂商性质:生产厂家

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  • TMC主动隔振平台

    TMC主动隔振平台STACIS III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

    更新时间:2024-05-11

    厂商性质:生产厂家

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