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TMC主动隔振光学平台STACIS IIIc
STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。
在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。
TMC主动隔振光学平台STACIS IIIc的优势
与常规STACIS III系统相比，隔离器高度最多降低42％，而性能却没有降低。
STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软"悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在最佳状态下运行。
*特的串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*越主动隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
规格
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间 （减少10:1） | 0.3秒 |
内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
从距离隔振器最大4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | 最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源） |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
隔振器尺寸（宽x深x高） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm
* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
隔振器重量 | 53磅（24千克） |
工作温度 | 50° - 90° F |
储存温度 | -40° - 130° F |
湿度 | 30 - 60% |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
DC-2020控制器规格
尺寸（宽 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 |
后面板端口 | 1个串行USB 2.0 |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 |
STACIS用户及应用领域
1、微电子、半导体
●晶片检测
●显微光刻技术
●掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
●SEM、TEM
●STEM、SPM
3、激光台
●生命科学、药物研发
4、工业应用
●精密加工
为什么要选择主动系统？
●从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
●提高质量、生产量
●更加细小特色的成像能力
●前沿研究
●比气动平台更稳定
●满足SEM标准地点安装参数的*一解决方案
●使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择STACIS
●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*美的无震环境。
●市场上*美强劲的低频隔振系统。
●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
●STACIS*次发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应，由于*特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是*与伦比的
●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
●完善的环境调查服务
●开具专业环境报告
●提供震动、磁场、声波检测及解决方案
●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
●40多年的行业经验，业内的*导者
应用照片
