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赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台

简要描述:赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台,SEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装,提供*越的性能,并且符合人体工程学优化。

  • 产品型号:SEM Base LP
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-21
  • 访  问  量:105
详细介绍

SEM主动隔振平台SEM Base LP

赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LP

SEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装,提供*越的性能,并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装,无需使用扫描电子显微镜(SEM)的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜(SEM)柱。而且,一旦安装,扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们*特的STACIS压电技术,具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮,专门设计用于与许多赛默飞世尔科技(前身为FEI)工具集成。

赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台 

 

赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台 

 

赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台 

Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

 

兼容的Thermo Fisher产品型号

SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容,包括

Apreo

Aquilos

Helios Small DualBeam

Nova NanoSEM x50

Quattro S

Scios

Teneo

Verios G4

Verios 460, 460L

Versa 3D

 

如果您的SEM/FIB未列出,请联系我们检查兼容性。

 

SEM主动隔振平台SEM Base LP优势

硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容,并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。

 

主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度,低频惯性速度传感器,以实现高水平的振动衰减,即使在安静的地板。

 

采用压电技术的串行设计–*特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽,以及*与伦比的惯性主动消振,从2 Hz开始可降低90%。

 

性能

赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台 

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

规格

性能

主动自由度

6

主动带宽

0.6 Hz - 100 Hz

被动固有频率

标称值为12 Hz

有效的主动共振频率

0.5 Hz

1 Hz时的隔振

40% - 70%

2 Hz时的隔振

90%

≥3 Hz时的隔振

90 - 98%

内部噪音

<0.1 nm RMSd>

工作负载范围

标准承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)

高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁场发射

4英寸(102毫米)处距离平台

<0.02 μG broadband RMSd>

 

设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全

符合CE和RoHS标准

主动隔振元件

最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷

被动隔振元件

单个硬弹性体(无需压缩空气源)

振动传感器元件

向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压

主动反馈控制回路

在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面

尺寸(宽 x 深)

35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米

高度

标称6.3英寸(160毫米),SEM-Base关闭时不会改变

工作温度

50° - 90°F

10° - 32°C

储存温度

-40° - 130°F

-40° - 55°C

湿度

80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C

系统电源要求

100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC;<600 W,符合CE标准

地面位移

<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

 

内置控制器规格

处理器

150/75 MHz双核

采样率

10 kHz

模拟输出

16个通道

模拟输入

16个通道

状态灯

单个LED

前面板端口

1个串行USB2.0

1个串行Micro-USB

1个以太网RJ-45

2个BNC

用户界面

前面板液晶显示屏

超级终端上的字符菜单

适用于Microsoft Windows的扩展GUI

嵌入式以太网GUI

 


 


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